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是泰安市2023年新招商項(xiàng)目，總投資15億元，主要生產(chǎn)純度6個(gè)9以上電子級硅烷、乙硅烷及一氯氫硅等產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路、平面顯示器及新能源行業(yè)。

其中一期計(jì)劃投資8億元，占地229.15畝，總建筑面積93000平方米，主要建設(shè)生產(chǎn)車間、控制室、倉庫、罐區(qū)、充裝站及其他公輔工程配套設(shè)施，購置各類生產(chǎn)及輔助設(shè)備200臺(tái)套，采用三氯氫硅歧化法、硅烷直接合成法等工藝，建成后年產(chǎn)硅烷5000噸、乙硅烷50噸、二氯氫硅1000噸、一氯氫硅500噸、三氯硅烷10萬噸。

該項(xiàng)目科技含量高，是省重大科技創(chuàng)新工程項(xiàng)目，技術(shù)團(tuán)隊(duì)核心專家來自日韓等國際電子材料領(lǐng)軍企業(yè)，乙硅烷屬國內(nèi)首次工藝，解決國內(nèi)集成電路、半導(dǎo)體所需高端氣體“卡脖子”問題，加快電子級硅烷氣國產(chǎn)替代進(jìn)程。綠色成分足，能耗僅為同行業(yè)的2/3。帶動(dòng)能力強(qiáng)，以該項(xiàng)目為依托，做強(qiáng)做大硅負(fù)極、氣凝膠等新能源、新材料產(chǎn)業(yè)，力爭5年內(nèi)建成國內(nèi)最具競爭力、具有國際影響力的氟硅新材料產(chǎn)業(yè)園。